FOUP
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FOUP (फ्रंट ओपनिंग यूनिफाइड पॉड का संक्षिप्त रूप)।[1] या फ्रंट ओपनिंग यूनिवर्सल पॉड[2]) एक विशेष प्लास्टिक वाहक है जिसे सिलिकॉन वेफर (इलेक्ट्रॉनिक्स) को नियंत्रित वातावरण में सुरक्षित रूप से रखने के लिए और प्रसंस्करण या माप के लिए मशीनों के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने की अनुमति देने के लिए डिज़ाइन किया गया है।[3]
1990 के दशक के मध्य में पहले 300 मिमी वेफर प्रसंस्करण उपकरण के साथ एफओयूपी दिखाई देने लगे। वेफर्स के आकार और उनकी कठोरता की तुलनात्मक कमी का मतलब था कि स्मिफ़ इंटरफ़ेस पॉड्स एक व्यवहार्य फॉर्म फैक्टर नहीं थे। FOUP मानकों को SEMI और SEMI सदस्यों द्वारा विकसित किया गया था ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि FOUPs और FOUPs के साथ इंटरैक्ट करने वाले सभी उपकरण एक साथ निर्बाध रूप से काम करें। एसएमआईएफ पॉड से एफओयूपी डिज़ाइन में परिवर्तन, वेफर्स को पकड़ने के लिए उपयोग किए जाने वाले हटाने योग्य कैसेट को निश्चित वेफर कॉलम द्वारा प्रतिस्थापित किया गया था। दरवाजे को निचले ओरिएंटेशन से सामने ओरिएंटेशन में स्थानांतरित किया गया था, जहां स्वचालित हैंडलिंग उपकरण वेफर्स तक पहुंच सकते हैं। 300 मिमी FOUP के लिए पिच 10 मिमी है, जबकि 13 स्लॉट FOUP में 20 मिमी तक की पिच हो सकती है। पूरी तरह से भरी हुई 25 वेफर एफओयूपी का वजन 7 से 9 किलोग्राम के बीच है जिसका मतलब है कि स्वचालित सामग्री हैंडलिंग सिस्टम छोटे निर्माण संयंत्रों को छोड़कर सभी के लिए आवश्यक हैं। इसकी अनुमति देने के लिए, प्रत्येक FOUP में कपलिंग प्लेट और इंटरफ़ेस छेद होते हैं, जिससे FOUP को लोड पोर्ट पर रखा जा सकता है, और AMHS (स्वचालित सामग्री प्रबंधन प्रणाली) द्वारा अन्य प्रोसेस टूल्स या स्टोरेज स्थानों जैसे कि उठाया और स्थानांतरित किया जा सकता है। एक स्टॉकर या अंडरट्रैक भंडारण। एफओयूपी आकाशवाणी आवृति टैग का उपयोग कर सकते हैं जो उन्हें टूल या एएमएचएस पर आरएफ पाठकों द्वारा पहचानने की अनुमति देता है। ग्राहक की इच्छा के आधार पर FOUPs कई रंगों में उपलब्ध हैं।
डिवाइस सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण#डिवाइस परीक्षण को बढ़ाने के प्रयास में एफओयूपी में प्रक्रिया, माप और भंडारण उपकरणों द्वारा शुद्ध गैस लागू करने की क्षमता होनी शुरू हो गई है। रेफरी>"एफओयूपी पर्ज सिस्टम - फैबमैटिक्स जीएमबीएच: सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए सामग्री हैंडलिंग स्वचालन". www.fabmatics.com.</ref>[4]
FOSB
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FOSB फ्रंट ओपनिंग शिपिंग बॉक्स का संक्षिप्त रूप है। एफओएसबी का उपयोग विनिर्माण सुविधाओं के बीच वेफर्स के परिवहन के लिए किया जाता है।[1]
निर्माता
- 3एस कोरिया
- सीकेप्लास
- दानिची शोजी
- एकीकृत
- ई-सन सिस्टम टेक्नोलॉजी
- गुडेंग परिशुद्धता
- मिरेल
- कोकोरो पॉलिमर
यह भी देखें
- स्मिफ़ इंटरफ़ेस
संदर्भ
- ↑ 1.0 1.1 Yoshio Nishi; Robert Doering (9 July 2007). सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रौद्योगिकी की पुस्तिका, दूसरा संस्करण. CRC Press. pp. 33–. ISBN 978-1-4200-1766-3.
- ↑ Mikhail Baklanov; Paul S. Ho; Ehrenfried Zschech (17 February 2012). ULSI प्रौद्योगिकी के लिए उन्नत इंटरकनेक्ट. John Wiley & Sons. pp. 291–. ISBN 978-1-119-96686-9.
- ↑ Lars Mönch; John W. Fowler; Scott Mason (12 September 2012). सेमीकंडक्टर वेफर फैब्रिकेशन सुविधाओं के लिए उत्पादन योजना और नियंत्रण: मॉडलिंग, विश्लेषण और सिस्टम. Springer Science & Business Media. pp. 144–. ISBN 978-1-4614-4471-8.
- ↑ "नया टीडीके नाइट्रोजन पर्ज एफओयूपी लोड पोर्ट मॉड्यूल लॉन्च किया गया". www.businesswire.com. July 3, 2013.
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