बुलबुला सिलेंडर
एक बब्बलर सिलेंडर रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) के लिए एक इकाई का एक घटक है। वे ऐसे उपकरण हैं जिनका उपयोग एक तरल या ठोस अग्रदूत से एक प्रयोग करने योग्य वाष्प में इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड ऑर्गोनोमेटेलिक रसायन शास्त्र को व्यक्त करने के लिए किया जाता है।
उपकरण
बबलर्स का कंटेनर गैस वाशिंग बोतल के निर्माण के समान है और हवा (ऑक्सीजन, नमी) को बाहर करने के लिए मेटलऑर्गेनिक यौगिकों के संरक्षित भंडारण के लिए उपयोग किया जाता है। बब्बलर में एक सप्लाई पाइप और एक सैंपलिंग ट्यूब होती है। इनलेट ट्यूब ट्यूब के नीचे से ठीक पहले समाप्त होती है। इस ट्यूब में, एक अक्रिय गैस डाली जाती है, जो तरल रसायन के माध्यम से बुदबुदाती है; एक ठोस रसायन उच्च बनाने की क्रिया (चरण संक्रमण) होगा। नियंत्रित अक्रिय गैस और वाष्पीकृत रसायन का मिश्रण सिलेंडर को डाउनस्ट्रीम रिएक्शन वेसल में छोड़ देता है। तापमान को थर्मोस्टेट द्वारा नियंत्रित किया जाता है, ताकि एक परिभाषित, स्थिर वाष्प दबाव प्राप्त किया जा सके। अक्सर महंगे और संवेदनशील रसायन की आपूर्ति अक्रिय गैस के नियंत्रित प्रवाह और बब्बलर के तापमान द्वारा नियंत्रित होती है, जिसके परिणामस्वरूप रसायन का एक वाष्प दबाव होता है।
बब्लर और रिएक्टर के बीच की ट्यूब में बुलबुले की तुलना में अधिक तापमान होना चाहिए, अन्यथा अग्रदूत ट्यूब में संघनन करेगा और इसलिए अनियंत्रित बूंदों को प्रतिक्रिया पोत में पारित किया जाएगा। यदि यह एक ठोस अग्रदूत के साथ होता है, तो यह लाइन को प्लग कर सकता है।
आवेदन
उदाहरण के लिए, उच्च चमक प्रकाश उत्सर्जक डायोड, गैलियम या अन्य समूह III-V तत्वों के उत्पादन के दौरान एकल क्रिस्टल सिलिकॉन सब्सट्रेट पर एपिटेक्सियल रूप से जमा किया जाता है। गैलियम को वाष्प के माध्यम से MOVPE रिएक्टर कक्ष में पेश किया जाता है। यह वाष्प एक अक्रिय वाहक गैस (जैसे नाइट्रोजन या आर्गन) को एक सिलेंडर के माध्यम से डिप ट्यूब के माध्यम से ट्राइमेथिलगैलियम जैसे मेटलऑर्गेनिक अग्रदूत के माध्यम से बुदबुदाते हुए उत्पन्न होता है। उच्च चमक एल ई डी के उत्पादन के दौरान अक्रिय वाहक गैस और मेटलऑर्गेनिक वाष्प को MOVPE (या MOCVD) रिएक्टर कक्ष में पेश किया जाता है।
बाहरी संबंध
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